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晶圓光阻UV固化機(jī)

本廠(chǎng)熱銷(xiāo)產(chǎn)品推薦

產(chǎn)品名稱(chēng):晶圓光阻UV固化機(jī)

1.強(qiáng)烈365/254nm紫外光波非接觸式照射,無(wú)電荷擊穿問(wèn)題,最能保護(hù)精細(xì)IC電路

2.UV照度高達(dá)650mw/cm2;產(chǎn)速快

3.適用12寸/8寸/6寸晶圓

4.自動(dòng)照度監(jiān)控及燈管壽命管理

5.防UV漏光及安全設(shè)計(jì)完備

6.照射均勻性80%以上(初始值) (直徑300mm圓5點(diǎn)量測(cè))