本廠熱銷產(chǎn)品推薦
產(chǎn)品名稱：晶圓光阻UV固化機(jī)
1.強(qiáng)烈365/254nm紫外光波非接觸式照射，無電荷擊穿問題,最能保護(hù)精細(xì)IC電路
2.UV照度高達(dá)650mw/cm2;產(chǎn)速快
3.適用12寸/8寸/6寸晶圓
4.自動(dòng)照度監(jiān)控及燈管壽命管理
5.防UV漏光及安全設(shè)計(jì)完備
6.照射均勻性80%以上(初始值) (直徑300mm圓5點(diǎn)量測(cè))
