1.強烈365/254nm紫外光波非接觸式照射,無電荷擊穿問題,最能保護精細IC電路
2.UV照度高達650mw/cm2;產(chǎn)速快
3.適用12寸/8寸/6寸晶圓
4.自動照度監(jiān)控及燈管壽命管理
5.防UV漏光及安全設計完備
6.照射均勻性80%以上(初始值) (直徑300mm圓5點量測)