晶圓光阻UV固化機
1.強烈365/254nm紫外光波非接觸式照射，無電荷擊穿問題,最能保護精細IC電路2.UV照度高達650mw/cm2;產速快3.適用12時/8時晶圓4.自動照度監(jiān)控及燈管壽命管理5.防UV漏光...
1.強烈365/254nm紫外光波非接觸式照射，無電荷擊穿問題,最能保護精細IC電路
2.UV照度高達650mw/cm2;產速快
3.適用12寸/8寸/6寸晶圓
4.自動照度監(jiān)控及燈管壽命管理
5.防UV漏光及安全設計完備
6.照射均勻性80%以上(初始值) (直徑300mm圓5點量測)
0512-57690598
詳細介紹
1.強烈365/254nm紫外光波非接觸式照射，無電荷擊穿問題,最能保護精細IC電路
2.UV照度高達650mw/cm2;產速快
3.適用12寸/8寸/6寸晶圓
4.自動照度監(jiān)控及燈管壽命管理
5.防UV漏光及安全設計完備
6.照射均勻性80%以上(初始值) (直徑300mm圓5點量測)
光阻固化機OVERVIEW與製程
